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2013年04月19日11:42 | 中國(guó)發(fā)展門戶網(wǎng) www.chinagate.cn | 給編輯寫信 字號(hào)：T|T

4.微納制造技術(shù)

針對(duì)物聯(lián)網(wǎng)、智能制造等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展對(duì)高性能、多功能、低功耗微納器件及系統(tǒng)的需求，攻克微納器件與系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、制造、集成化前沿核心技術(shù)，解決能夠引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的微納制造關(guān)鍵共性技術(shù)，研制一批能夠提升產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力的微納器件與系統(tǒng)。

4.1 物聯(lián)網(wǎng)用高性能硅基微納器件及系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與制造

針對(duì)物聯(lián)網(wǎng)、智能制造等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)對(duì)高性能微納傳感器、陣列化微納傳感器及其系統(tǒng)、多功能微納系統(tǒng)的需求，攻克高端微納器件可制造性設(shè)計(jì)技術(shù)、陣列化微納傳感器兼容工藝技術(shù)、三維異質(zhì)集成技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，研發(fā)出高性能三維系統(tǒng)和批量化高精度硅壓力傳感器系列產(chǎn)品，提高流程工業(yè)的核心競(jìng)爭(zhēng)力并支撐物聯(lián)網(wǎng)未來的發(fā)展。設(shè)5個(gè)研究方向:

4.1.1 工業(yè)過程控制高精度硅壓力傳感器及系統(tǒng)（國(guó)撥經(jīng)費(fèi)控制額不超過1000萬元、企業(yè)牽頭申報(bào)，前沿技術(shù)類）

針對(duì)智能制造裝備、系統(tǒng)控制技術(shù)發(fā)展需求，突破高精度、高可靠性硅壓力傳感器及變送器批量化制造工藝一致性、穩(wěn)定性、可靠性等關(guān)鍵技術(shù)，形成高精度、高可靠性硅壓力傳感器及變送器批量生產(chǎn)技術(shù)規(guī)范，建立年產(chǎn)10萬套的生產(chǎn)線，傳感器精度優(yōu)于0.075%，成品率大于90%，實(shí)現(xiàn)規(guī)?；瘧?yīng)用。

4.1.2 高端微納器件可制造性設(shè)計(jì)技術(shù)（國(guó)撥經(jīng)費(fèi)控制額不超過500萬元、企業(yè)牽頭申報(bào)，前沿技術(shù)類）

針對(duì)物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用對(duì)高端微納器件與系統(tǒng)的批量化需求，研究硅基MEMS制造工藝相對(duì)偏差較大導(dǎo)致的器件成品率較低問題，突破制造工藝模擬、制造過程可測(cè)試性、考慮工藝偏差的微納器件設(shè)計(jì)與優(yōu)化等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)出商用設(shè)計(jì)軟件模塊并在生產(chǎn)線應(yīng)用。

4.1.3 陣列化微納傳感器設(shè)計(jì)與制造技術(shù)（國(guó)撥經(jīng)費(fèi)控制額不超過1000萬元、企業(yè)牽頭申報(bào)，前沿技術(shù)類）

針對(duì)物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展對(duì)高性能、低功耗微納傳感器的需求，突破陣列化微納傳感器及接口電路的低功耗設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)試等關(guān)鍵技術(shù)，研制出6萬個(gè)以上陣列單元及其系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)規(guī)模化應(yīng)用。

4.1.4 微納系統(tǒng)三維異質(zhì)集成化技術(shù)（國(guó)撥經(jīng)費(fèi)控制額不超過1000萬元，前沿技術(shù)類）

針對(duì)物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展對(duì)多功能、低功耗微納系統(tǒng)的需求，突破微納系統(tǒng)三維異質(zhì)集成的設(shè)計(jì)、對(duì)準(zhǔn)、封裝、測(cè)試等關(guān)鍵技術(shù)，研制出包括微能源、微納傳感器、信號(hào)處理與收發(fā)電路等多功能微納系統(tǒng)原型，實(shí)現(xiàn)示范應(yīng)用。

4.1.5 硅基氮化鋁微納系統(tǒng)（AlN-MEMS）的設(shè)計(jì)與制造技術(shù)（國(guó)撥經(jīng)費(fèi)控制額不超過1000萬元、企業(yè)牽頭申報(bào)，前沿技術(shù)類）

針對(duì)物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展對(duì)多功能、低功耗、無線微納系統(tǒng)的需求，突破硅基AlN薄膜制造與測(cè)試技術(shù)、硅基AlN-MEMS設(shè)計(jì)與兼容制造工藝，研發(fā)出聲波傳感器、諧振器、能量收集器等3種以上器件，建立年產(chǎn)達(dá)1000萬只器件的生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)規(guī)模化應(yīng)用。

4.2 高性能金屬微納結(jié)構(gòu)制造技術(shù)及裝備

針對(duì)高端裝備發(fā)展對(duì)微型金屬慣性開關(guān)、安保機(jī)構(gòu)、點(diǎn)火靶微孔的需求，攻克金屬UV-LIGA（紫外光-光刻電鑄成型）的設(shè)計(jì)制造關(guān)鍵技術(shù)、飛秒激光脈沖序列微納加工的關(guān)鍵工藝技術(shù)及系統(tǒng)集成技術(shù)，研發(fā)出飛秒激光脈沖序列微納加工裝備和批量化微型金屬慣性開關(guān)與安保機(jī)構(gòu)產(chǎn)品，支撐我國(guó)高端裝備發(fā)展。設(shè)2個(gè)研究方向:

4.2.1 紫外光-光刻電鑄成型（UV-LIGA）規(guī)?；圃旒夹g(shù)（國(guó)撥經(jīng)費(fèi)控制額不超過1000萬元、企業(yè)牽頭申報(bào)，前沿技術(shù)類）

針對(duì)高端裝備發(fā)展對(duì)微型金屬慣性開關(guān)和安保機(jī)構(gòu)的需求，研究金屬UV-LIGA（紫外光-光刻電鑄成型）的設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試、裝配等關(guān)鍵技術(shù)，攻克批量制造的一致性，形成批量生產(chǎn)技術(shù)規(guī)范，建立年產(chǎn)30萬只器件的生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)規(guī)模化應(yīng)用。

4.2.2 飛秒激光脈沖序列微納加工關(guān)鍵工藝與裝備（國(guó)撥經(jīng)費(fèi)控制額不超過1000萬元，前沿技術(shù)類）

針對(duì)高端裝備發(fā)展對(duì)大長(zhǎng)徑比金屬微納結(jié)構(gòu)制造的需求，解決飛秒激光脈沖序列微納加工的關(guān)鍵工藝技術(shù)、系統(tǒng)集成技術(shù)，研制出飛秒激光脈沖序列微納加工裝備，實(shí)現(xiàn)示范應(yīng)用。

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